欢迎来到天天文库
浏览记录
ID：42812224
大小：162.00 KB
页数：5页
时间：2019-09-22
《硅片甩干机维护作业指导书》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在工程资料-天天文库。
1、硅片甩干机维护作业指导书编制人：审核人：批准人：1目的制定木文件是为了保证甩干机止常的使用，定期对腔内、甩盘等进行维护保养。2范围木文件适用于K+P车间硅片甩干机。3定义无4相关文件无5职责5.1K+P车间设备工程师具体执行。6管理内容6.1设备工器具6.1.114#扳手、无尘纸、百洁布、酒精、放螺丝的盒子等。6.2操作步骤6.2.1按下屏幕右方的OPEN键，使甩干机上盖打开。622切断设备的电源。6.2.3用14#扳手把电盘卸下。624用无尘纸清理腔内碎片。6.2.5川百洁布将丿II盘卜-及周围的锈迹清理干净。6.2.6用无
2、尘纸沾用酒梢将腔内、电盘及周边清理T净。6.2.7ffl14#扳手将甩盘装到设备上。6.2.8检查排废管道是否漏液，如漏液需上紧接头或更换管道。6.2.9检查进水管道是否漏水：如果是请重新上紧或更换水管。。6.2.10检查氮气压力是否保持在0.4-0.6MPA。6.2.11检查控制而板上的各种操作按钮：如有损坏及吋更换。6.2.12检查及清洁电气原器件，避免造成漏电及局部短路，接触不良。6.2.13保证设备可靠接地。6.2.14整理现场5S。6.2.15对设备上电，试机。6.3使用中注意事项6.3.1不要把工具等落在丿11盘内
3、。6.3.2电机上的三角带半年需更换一次。7记录设备维护保养记录
此文档下载收益归作者所有
