半导体甩干机操作规范

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1、甩干机操作规范兼职广告任务网www.jz606.com文件代码：SNS-WI-S2-501编写人员：晏小平审核人员：批准人员:保密等级：分发部门总经办管代行政部人力资源部生产一部生产二部生产三部品检部研发部市场营销部采购部财务部项目部动力保障部文控中心档案室分发范围分发份数本档为中镓半导体科技有限公司专有财产，非由书面许可不得外借，严禁复制或转成其它任何形式使用文件代码SNS-WI-S2-501甩干机操作规范页次2/2版本/版次A0制定日期2010-12-01制定部门生产二部生效日期2011-02-011、目的：规范甩干机正确安全操作，保证安全生产。2、设备操作和使用1)设备操作说明A

2、:严禁用紫外线照射液晶屏幕；B:每次关机后重新启动的时间间隔应大于1分钟；C:操作中用力要适中，不可用力过大，以免损伤本机屏幕；3、操作流程图如下：文件代码SNS-WI-S2-501甩干机操作规范页次2/2版本/版次A0制定日期2010-12-01制定部门生产二部生效日期2011-02-014、标准操作程序A:通气源、水源、调节各参数以确保氮气压力(清洗机在80±5psi,甩干机在40±5psi内)B:打开本机电源，系统自动进入设备初始界面C:进行参数设置D:将需旋干之晶片装在甩干机专用卡塞中，并置于甩干机工作腔体内，E:按动启动按钮，开始工作F:一次工作结束后按返回键客返回编辑状态，

3、按启动按钮，重新开始工作。5、注意事项1）设备运行时，腔体内必须放卡塞,否则由于平衡破坏造成设备损坏或精度降低2）晶片必须均匀放置在卡塞内，尽量保证首尾重力平衡3）卡塞放置在腔体内时，片子正面应朝向观察窗一侧4）设备运行中不得试图打开密封门盖，否则会造成人体伤害或机器损坏5）关机重启后，时间间隔1分钟以上，否则可能会造成电气损坏6）设备运行中，主意去离子水流量不得超过允许值，否则可能由于排放受阻而造成机器损坏7）每次运行完毕后取出片子时，主意卡塞口是否朝上，纠正后再取出，否则片子会掉出来8）一旦发现水路关联件出现“漏水”、“滴水”现象应立即关机，检修后再运行