Varian 离子注入设备规格

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1、Varian离子注入机EHP220设备规格1.概要本E220中束流离子注入机使用离子源，通过磁分析器、平行束透镜、加速系统等系统来完成注入。B+束流达0.9mA，P+束流达1.6mA，As+束流达1.2mA。2.系统组成E220中束流离子注入机主要由以下几个主要系统组成：2-1）、束线系统；2-2）、靶室系统；2-3）、电源系统；2-4）、辅助系统；2-5）、控制系统；3.性能指标3-1）、离子能量：10-200keV（+）3-2）、束流最小束流：10μA，且能稳定     最大束流：能量到靶束流（uA）KeVP+As+B+2001600120090

2、0100160011009004013009008001545030056010100120150 3-3）、工作效率机械传送效率≥160片/小时(10scans)。3-4）、注入均匀性及重复性注入剂量均匀性：1σ≤0.5%     注入剂量重复性：1σ≤0.5%3-5）、质量分析能力M/△M≥85（≥100KV）3-6）、颗粒污染测试颗粒污染控制 ＜0.1/cm2@0.2μm。3-7）、圆片注入倾斜角度圆片注入倾斜角度：0～60°   3-8）、靶注片方式靶注片方式：单圆片注入圆片直径：200mm3-9）、系统真空度静态离子源真空度：3.00E-6

3、Torr静态束线真空度： 4.00E-6Torr静态靶室真空度： 5.00E-6Torr3-10）、辐射剂量辐射剂量：≤2usv／h4.场务安装4-1）、安装条件电源：45KVA，208V，3相，5线，50/60Hz冷却水：入口 2.8Kg/cm2(mix)-10.5Kg/cm2(max),0.63L/S 21℃(max)干氮：1.4Kg/cm2(mix)-10.5Kg/cm2(max)0.47L/S(normal)-4.7L/S(max)压缩空气：7Kg/cm2(mix)-10.5Kg/cm2(max)2.35L/S（mix）通风：70.5L/S 

4、、压力-500Pa（气箱排气）2.58L/S（终端排气）2.58L/S（靶室排气）散热：10kwh（空气）32.5kwh（水）尺寸：498cm×310cm×244cm重量：11000Kg4-2）、废气排放设备废气排放图详见附件图14-3）、重心分布设备重心分布图详见附件图25.附属品5-1）、工具维护保养设备所需工具：1套/台5-2）、离子源离子源：1套/台6.性能指标验收整机指标测试序号技术指标测量条件与方法测量仪器测量结果备注1离子能量:10keV～200keV（单电荷）见6-10.5级静电高压计（300KV）  2能量精度：±1%。见6-1同上

5、  3注入元素：B+、P+、As+（束流强度：P+≥1.5mA）见6-2   7靶注片方式：单圆片注入    8圆片直径：200mm直尺  9注入剂量均匀性：≤0.5%见6-3M-280四探针系统  10注入剂量重复性：≤0.5%见6-4同上  11生产效率：160片/小时见6-5   12辐射剂量：2usv／h见6-6   13离子源寿命：≥80小时见6-7统计数据  14损片率：≤1/20000 统计数据  15束流：B+≤900uA；P+≤1600uAAs+≤1200uA见6-7   测试：                           

6、 日期：验收：                            日期：6-1）、离子能量与能量精度测量离子能量是引出电压与加速电压之和，测量时以测量仪器上显示的能量读数为准。测量方法：通过引出单电荷，离子能量为：10keV～200keV（单电荷）采用高压计检测设备实际离子能量，实际离子能量与设备显示离子能量进行对比，得出其误差，计算后获得能量精度。1）最高能量检测：能量为200KeV，引出的P+束流大小应在60μA下进行试验，稳定工作0.2小时，束流变化≤10%，试验过程中出现的打火故障以不中断引束流为准。实际测量：              

7、                       验收结果：离子最高能量满足指标≥     KeV要求。测试：                          日期：验收：                          日期： 2）最低能量检测：能量为10keV，引出的P+束流大小应在200μA下进行试验，稳定0.2小时，束流变化≤10%。实际测量：                                       验收结果：离子最低能量满足指标≤     KeV要求。   测试：                          日期：

8、验收：                          日期： 3）能量精度检测：a.引出元素为P+时检测