半导体设备行业深度报告：2020，中国半导体设备的转机之年

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1、正文目录2019年第四季度或是半导体设备产业恢复高增长的向上拐点45G产业浪潮驱动，全球半导体设备市场出现改善迹象4逆周期投资强化中国设备市场韧性，本土企业收入及订单向上拐点到来7国内设备产业体系形成，优势企业初步具备进口替代能力10中微公司：CCP刻蚀机优势持续强化，ICP刻蚀机实现量产突破11北方华创：半导体设备布局渐趋完备，打造“平台型”产品体系15长川科技：探针台、数字测试机新品蓄力，有望实现测试设备全品类布局16晶盛机电：半导体单晶炉批量化销售，向硅片后道加工设备不断延展19国产设备崛起还面临哪些问题？研发投入

2、、税收压力、激励机制21投资建议24风险提示26附录：中国半导体设备非上市公司梳理27上海微电子：光刻机国产化中坚力量，满足90nm制程工艺需求27沈阳拓荆：PECVD设备技术实力领先，成功研发ALD设备28中科仪：布局真空获得设备与PVD、CVD设备29盛美半导体：全球化发展布局，清洗设备进入国内外主流晶圆厂31华海清科：12寸CMP设备先后进入中芯国际、上海华力32南京晶升能源：12寸单晶炉进入国内硅片领先企业33图表目录图表1：2005~2018年全球GDP与半导体及设备市场规模增速比较4图表2：全球半导体市场月度

3、销售额及增速4图表3：中国半导体市场月度销售额及增速4图表4：台积电、中芯国际资本支出及增速6图表5：北美半导体设备制造商月度出货金额及增速6图表6：应用材料、泛林半导体单季度收入及同比增速6图表7：中国大陆晶圆厂分布及建设规划7图表8：2005~2020年全球半导体设备销售额的地区分布及预测8图表9：全球主流晶圆厂的技术迭代进程8图表10：中国国产半导体设备销售额及增速9图表11：北方华创、长川科技单季度收入及增速9图表12：2005~2020年全球、中国半导体设备销售规模及预测9图表13：中国半导体设备代表企业的产品

4、布局10图表14：中微公司半导体刻蚀设备产品一览11图表15：中微公司设立以来主要产品的演变情况12图表16：公司电容性等离子体刻蚀设备（CCP）核心技术12图表17：公司电感性等离子体刻蚀设备（ICP）核心技术13图表18：2017年全球刻蚀设备市场份额分布情况13图表19：国内知名存储芯片制造企业A近期刻蚀设备份额（台数占比）14图表20：国内知名存储芯片制造企业B近期刻蚀设备份额（台数占比）14图表21：公司电容性等离子体刻蚀设备（CCP）主要研发项目14图表22：公司电感性等离子体刻蚀设备（ICP）主要研发项目1

5、4图表23：北方华创主要产品布局一览15图表24：北方华创半导体设备领域细分产品一览15图表25：半导体测试流程及长川科技目前覆盖的设备16图表26：各主流测试设备公司产品情况一览17图表27：STI主要产品一览18图表28：晶盛机电主要产品布局一览19图表29：晶盛机电半导体领域新产品一览20图表30：国内外半导体设备代表公司的研发支出/营业收入对比21图表31：国内外半导体设备代表公司的研发支出对比21图表32：集成电路生产企业税收优惠政策梳理22图表33：国内半导体设备公司的实际税率（所得税/利润总额）22图表34

6、：国内半导体设备公司的研发人员数量及占比23图表35：2018年国内半导体设备公司的人均情况（单位：万元）23图表36：半导体设备国内核心公司估值及盈利预测25图表37：半导体设备海外核心公司估值及盈利预测25图表38：海外半导体设备企业1987~2019年PE-TTM25图表39：海外半导体设备企业1987~2019年PS-TTM25图表40：上海微电子发展历程27图表41：上海微电子半导体设备产品布局一览27图表42：上海微电子SSX600系列光刻机主要产品型号及参数28图表43：沈阳拓荆发展历程28图表44：沈阳拓

7、荆半导体设备产品布局一览29图表45：沈阳拓荆合作伙伴布局29图表46：沈阳科仪发展历程30图表47：中科仪半导体设备产品布局一览30图表48：盛美半导体发展历程31图表49：盛美半导体半导体设备产品布局一览31图表50：华海清科主要CMP设备产品一览32图表51：华海清科公司主要发展里程碑33图表52：南京晶升能源主要产品布局一览332019年第四季度或是半导体设备产业恢复高增长的向上拐点5G产业浪潮驱动，全球半导体设备市场出现改善迹象全球半导体、半导体设备行业景气度与全球GDP增速相关性较高，但波动幅度更大。半导体行

8、业虽然有科技革命驱动，但也会受到全球经济的影响而出现周期性波动。通过数据，我们可以发现2005~2018的十几年里，半导体及设备市场规模波动性较大，且与全球经济的景气度密切相关。图表1：2005~2018年全球GDP与半导体及设备市场规模增速比较(%)全球:GDP:同比全球半导体销售额:同比（右轴）全球半导体设备:销