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1、题目:扩散文件号:JINKO125S版本号:02页号:1/1发布日期:2009.W.W流程图操作过程所需检测仪器及工具工艺卫生要求检验项目检验要求检验方法检验器具抽样方案*插片上舟扩散/操作台面〈的及个人5S清洁戴好口罩和乳胶手套,防尘服,穿戴布鞋或一次性干净鞋套。穿戴防尘服整齐,拉链扣上。接片:从传递窗内及时取出硅片，并将传递窗及时关闭,片子取出存放于净化插片台用舟叉将石英舟移至净化操作台上,用镶子每槽1片顺序将退片插入石英舟（使用前舟叉和镶子需要用酒精擦洗干净）;单面扩散每槽插2片。上浆:用舟叉将装满硅片的石英舟直接放在浆上,放置平稳;进舟扩散前确认工艺号是否正确（低阻使用DIF12
2、5-DZ,高阻使用D1F125-GZ工艺号）,进舟进行扩散,注意炉门挡板是否到位;方块电阻中心R用四探针四探±各道工序的工夹大小和不口:125测试仪测针测lohm.c具应保持在各工均匀度单晶:量硅片四试仪ni位处,以免交叉污40〜45,同角及中心染一炉中扩方块电散方块电阻;石英舟,石英挡板阻不均匀不均匀度（炉尾,炉口和外度=%；二（R口挡板）,石英管,同一硅片max-R口石英钉,石英钉套扩散方块min)/(R管等石英制品,按电阻不均口max+R扩散间石英制品匀度W口min)的要求清洗。10%*100%源瓶和聚四氟乙烯接头,按扩散间塑料制品的要求进行清洗。接触硅片和承片色斑硅片表面目测眼睛全
3、检盒以外其他物品无明显色后再接触硅片和斑承片盒时,必须更换干净的乳胶手套。题目:扩散文件号:JINKO125S版本号:02页号:7/7流程图操作过程发布日期:2009.1（）.1（）所需检测仪器及工具工艺卫生要求检验项目检验要求检验方法检验器具抽样方案11下浆•扩散完成后自动退舟,用舟叉将石英舟直接移到卸片操作台面上冷却5min戴上干净的乳胶手套或丁月青手套取6片扩散后的硅片（炉口,炉中,炉尾各两片）用四探针测试仪按顺序测量硅片中心方块电阻并记录,用WT-1000少子寿命测试仪测量扩散后片子的少子寿命判断方块电阻值是否在要求范围内,若合格,将硅片卸到硅片盒内,扩散面向上叠放在硅片的正反表面
4、换源及源瓶采用双人管理确认扩散管安装后,接入软管后的状态卜加测试卸片题目:扩散-R口测量与调整文件号:JINKO125S版本号:02页号:1/1发布日期:2009.10.10流程图操作过程所需检测仪器及工具工艺卫生要求检验项目检验要求检验方法检验抽样测试取片*四探针测试仪校准测量记录器具方案抽样,戴上洁净的乳胶手套四探针测测试值是四探每班1每4hr校准一次工在每炉管顺序取6片扩散后试的测试否能稳定针测次作电流，如有电流的硅片，具体为靠近炉口1稳定试仪不稳情况,需多次片,离炉口10公分位置1片,校验。靠近炉中2片,靠近炉尾1片,离炉口10公分位置1片四探针测重复测量同一测试四探每48每48小
5、时由质量四探针测试仪选择电流“10x”试的测量精度＜3%点区域范针测小时1部人员专人对四档,EXCHo1亮显。按“下精度围内测试试仪次探针测试仪进行降”键使探针接触硅片中心10次相互校准,判断四点,换到1档,测试电流应探针是否存在差为4.530MA,若数值不对,异,确保四探针准调整粗调按钮，使之到确。4.500MA左右,再调节微调至要求值,校准工作后按“上升”不同四探相对误差取10片四探每周为了减小测试值键使探针脱离硅片,换到R档针测试仪<5%片子测量针测一次与实际值的差异,的相对测中心点试仪测试必须在较暗测量硅片中心方块电阻。按试误差环境下进行测试“下降”键,待显示数字稳定后记录所测硅片
6、位置的方不可以在同一点块电阻,按“上升”键使探上多次测量,以免针脱离硅片,移动硅片换一损伤PN结或导致个位置测量。碎片题目:扩散・R口测量与调整文件号:J1NKO125S版本号:02页号:1/1发布日期:2009.10.10流程图操作过程所需检测仪器及工具工艺卫生要求检验项目检验要求检验方法检验器具抽样方案当需要测量边缘方块电阻时,测试位置距离硅片边缘1-2cm记录下测量的方块电阻值,并根据记录的中心方块电阻值进行扩散工艺的微调，使之能够达到要求值,以下以方块电阻控制范围45-50ohm.cin为例说明题目:扩散-R口调整文件号:JINKO125S版本号:02页号:1/1发布日期:2009
7、.10.10流程图R口调整方法R口异常1,方块电阻控制要求为45・5（）,中心控制为45・47（下偏差）,当前扩散温度为85（）85085（）85（）85（）（炉口・＞炉内），流量为1200（小N2）22000（大N2）l（）（）（）（氧气），具体数值不同炉管会有差异。2,测量数值若为,43,5（）,52,54,52,40（炉口亠炉内）,此为方阻管内不均匀情况,需要调整温度,温度调整方法为,原则一,1个R口对应7个温度,
