资源描述：
《3柔性透明导电氧化物薄膜的制备及其应用(已看)》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。
1、第24卷第5期液晶与显示Vol24,No52009年10月ChineseJournalofLiquidCrystalsandDisplaysOct.,2009文章编号:10072780(2009)05067506柔性透明导电氧化物薄膜的制备及其应用11,21,21,21,2*邵景珍,董伟伟,陶汝华,邓赞红,方晓东(1.中国科学院安徽光学精密机械研究所,安徽合肥230031,Email:jzshao@mail.ustc.edu.cn;2.中国科学院等离子体物理研究所新型薄膜太阳电池重点实验室,安徽合肥230031)摘要:柔性透明导电氧化物
2、薄膜以其重量轻、不易碎、成本低等独特的优点而备受青睐,在塑料液晶显示、可折叠太阳能电池等领域得到广泛的应用。文章介绍了目前制备柔性透明导电氧化物薄膜的主要技术及其优缺点,总结了近年来对柔性衬底的处理方法,最后对柔性透明导电氧化物薄膜在各个领域的开发应用和未来的重点研究方向进行了展望。关键词:透明;导电;氧化物薄膜;柔性衬底中图分类号:TN304文献标识码:A-4采用喷射热分解法获得了电阻率为7.6!10∀1引言cm,透过率>85%的ZnOGa(GZO)薄膜。玻璃透明导电氧化物(TransparentConductive等硬质衬底材质脆,不能弯曲
3、,在某些方面限制了Oxide,TCO)因其可见光透过率高、电阻率低等透明导电氧化物薄膜的应用。在柔性衬底上(如特点得到越来越广泛的重视,应用范围十分广泛。塑料、橡胶等)制备的TCO膜具有可折叠、重量[1]轻、不易碎、易于大面积生产、便于运输和设备投自1907年Badeker利用CdO制备出第一块透明导电膜至今,用于制备透明导电膜的材料已涵资少等优点,可广泛应用于平板显示器、太阳能电盖In,Sn,Zn,Cd多种氧化物及多元复合氧化物,池、农用透明隔热保温塑料大棚等领域。本文就目前柔性透明导电薄膜制备中对柔性制备出的透明导电薄膜广泛应用于太阳能电池衬底的选择与处理以及
4、柔性透明导电氧化物薄膜板、平板显示、红外热反射镜等领域。目前,研究制备技术的优缺点进行了对比研究,并对柔性透较多的是SnO2基,In2O3基和ZnO基材料,其中明导电氧化物薄膜的应用和发展前景进行了以Sn掺杂的In2O3(In2O3Sn,ITO)和Al掺杂展望。的ZnO(ZnOAl,AZO)研究较为广泛。研究者为开发适合特殊用途的TCO薄膜,还研制出一2柔性衬底材料的选择与处理些新型的多元化合物TCO薄膜,如ZnOSnO2,柔性材料主要是指有机聚合物材料,如聚丙[26]ZnOIn2O3,ZnAl2O4,Cd2SnO4,CdIn2O4等;烯、聚酯材料等。
5、对柔性衬底材料的选择一般要以及具有p型导电特性的TCO薄膜,如CuAlO2,考虑到以下几点:[7,8]SrCu2O2等。(1)衬底材料的透过率;TCO薄膜的制备通常都是在硬质衬底上,如(2)衬底和薄膜间热膨胀系数的匹配性;玻璃衬底、透明陶瓷衬底等。薄膜的有关光电特(3)柔性衬底与透明导电薄膜的粘附性。[9]性也很好,如KimH等采用脉冲激光沉积近年来,研究人员用不同的制备技术在米拉(PulseLaserDeposition,PLD)方法在200的(Mylar)薄膜、聚乙烯对苯二甲酯(Polyethylene-4玻璃衬底上获得了电阻率为3.7!10∀cm,tere
6、phthalate,PET)、聚碳酸酯(Polycarbonate,[10]透过率为90%的AZO薄膜;ReddyKTR等PC)、聚丙烯(Acrylic)、聚酰亚胺(Polyimide,收稿日期:20090227;修订日期:20090323基金项目:安徽省自然科学基金(No.090414069)*通讯联系人,Email:sjzxx2001@126.com676液晶与显示第24卷PI)、聚丙烯己二酯(Polypropyleneadipate,性衬底不耐高温的特点,所以在有机衬底上沉积PPA)、聚醚砜(Polyethersulpho
7、ne,PES)等基片的透明导电氧化物薄膜,通常采用溅射法、真空蒸上都成功制备出了透明导电氧化物薄膜。镀法和离子镀法来制备。退火对提高沉积薄膜的由于柔性衬底一般都不耐高温,因此薄膜的质量有一定的作用,通过改进退火技术,退火温度沉积需在低温下进行;然而太低的温度不利于薄可以得到有效降低,使各种制备技术被有效利用。膜的结晶与成相,对薄膜与衬底之间的附着力也3.1溅射法有很大的影响。为了克服以上缺点,通常在沉积所谓溅射(Sputtering)是指荷能粒子轰击固薄膜之前要先对衬底材料进行处理,处理方法一体表面(靶),使固体原子(或分子)从表面射出的般有以下几种:现象。射出
8、的粒子大多
