准分子激光器.doc

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1、附件一：相干激光器特点及选型l准分子激光器原理：准分子为工作物质的一类气体激光器件。常用相对论电子束（能量大于200千电子伏特）或横向快速脉冲放电来实现激励。当受激态准分子的不稳定分子键断裂而离解成基态原子时，受激态的能量以激光辐射的形式放出。l准分子激光运用：1.激光视力校正2.脉冲激光沉积3.微加工4.卷轴式直接刻图5.激光退火6.布拉格光纤光栅刻写美国相干公司：成立于1966年，是世界第一大激光器及相关光电子产品生产商，产品服务于科研、医疗、工业加工等多个行业；秉承40年的激光制造经验和创新精神

2、，致力于提供一流的商业化激光器，促进科学研究不断进步、生产制造行业生产力和加工精度的不断提高；其全球化的销售、客户服务和技术支持网络更为客户提供全球范围内的合作和服务。常见紫外激光波长有：157nm,193nm,248nm,308nm及351nm。根据客户要求，考虑到穿透深度和热效性等因素,为了避免接触边缘材料,选用EXS-200-248nm-XS，具体参数如下：名称:EXS-200-248nm-XS波长:248um管路设计:almetaXS高压开关技术:固态开关预电离技术:电晕预电离最大重复频率:2

3、00HZ重频越高,单子能量越小,影响区域越小.能量最大值:12mj能量正常值:8mj能源稳定（标准差）:2%脉冲平均功率:1.6W脉冲宽度（FWHM）:typ.5ns光束尺寸（FWHM，vxh）:6mmx3mm光束发散（FWHM，vxh）:3mradx1,5mrad附件2：光路系统:光学系统激光校正定位系统聚焦系统