半导体设备行业国产化专题九：清洗设备，清洗设备国产化率与刻蚀设备国产化率基本持平，盛美是12寸线清洗设备国产化关键推动者.docx

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1、随着线宽微缩，晶圆制造的良率随着线宽缩小而下降，而提高良率的方式之一就是增加清洗工艺，在80-60nm制程中，清洗工艺大约100多个步骤，而到了20-10nm制程，清洗工艺上升到200多个步骤以上。图表1.工艺进步与芯片良率关系图表2.工艺进步带动清洗步骤增加资料来源：2017年半导体设备年会，中银证券资料来源：2017年半导体设备年会,中银证券根据SEMI、Gartner等，2018年清洗设备市场规模32亿美元，连续3年复合增速21%，在晶圆制造工艺设备市场上占5.3%的比重。图表3.全球清洗设备市场规模超过30亿美元资料来源：SEMI,Gartner,中银

2、证券目前，国际上共有5家企业在生产单晶片清洗设备，分别是ScreenSemiconductorSolutions、TEL、LamResearch、SEMES和ACMResearch（盛美）。2018年，约45%的清洗设备市场份额被Screen占据，约38%市场份额被TEL和LamResearch占据，SEMES占15%，盛美市占率达到2.3%。图表4.全球半导体清洗设备竞争格局（2018）TEL25.3%Screen45.1%SEMES14.8%盛美2.3%LamResearch12.5%资料来源：Gartner,中银证券图表5.半导体清洗设备企业经营业绩比较

3、（2019）整体收入规模净利润毛利率净利率IC清洗设备的清洗设备市值清洗设备类型优势单片Jetsprayand（＄亿）（＄亿）(%)(%)收入占比(%)市占率(2018,%)（＄亿）DNSTELLamSEMESchemical前道/中道清洗300.46241.5714526前道清洗单片Jetsprayand1031740161025325chemical后道铜制程清洗单片Jetsprayand95.521452212.5372chemical单片Jetsprayand三星供应商12（18年）15chemical、兆声波ACMR单片SAP

4、S/TEBO小颗粒清洗，无图形破坏清洗1.080.24717.6>90%210资料来源：公司公告，中银证券盛美半导体从客户在制程工艺中遇到的实际问题出发，研发出SAPS、TEBO等清洗技术，清洗设备被国际客户持续重复采购用于DRAM等制造工艺，打破国际市场垄断格局，根据公司约1亿美元的收入与全球清洗设备30多亿美元的市场规模测算，2019年盛美半导体在全球清洗设备市占率提高到3%。图表6.盛美SAPS清洗效率高于批式兆声波资料来源：公司公告，中银证券图表7.盛美TEBO清洗技术接近零损伤资料来源：公司公告，中银证券本土12英寸晶圆厂的清洗设备主要来自LamR

5、esearch、Screen、TEL、盛美半导体，盛美半导体已成为清洗设备本土市场上第二大供应商据中国国际招标网数据统计长江存储、华虹无锡、上海华力二期项目共累计采购的200多台清洗设备中，按中标数量对供应商排序依次是Screen、盛美半导体、LamResearch、TEL、北方华创、沈阳芯源等，所占份额依次是48%、20.5%、20%、6%、1%、0.5%，盛美半导体的市场份额排名第二，略高于LamResearch。图表8.本土清洗设备市场的竞争格局盛美20.5%Screen48%Lam20%其他4%TEL6%沈阳芯源0.5%北方华创1%资料来源：中国国际招

6、标网，中银证券(1)长江存储至今累计采购80多台清洗设备，其供应商按中标数量排序依次是Screen、盛美半导体、LamResearch、TEL、北方华创，所占份额依次是40%、22%、16%、14%、2%，盛美半导体位居第二；图表9.长江存储清洗设备的供应商市场份额北方华创2%其他7%TEL14%Screen39%Lam16%盛美21.8%资料来源：中国国际招标网，中银证券(1)华虹无锡项目采购的50多台清洗设备中，其供应商按中标数量排序依次是Screen、盛美半导体、LamResearch、TEL，所占份额依次是54%、21%、21%、2%，盛美半导体与La

7、mResearch同时位居第二名；图表10.华虹无锡项目清洗设备的供应商市场份额Screen54%盛美20.8%Lam21%其他2%TEL2%资料来源：中国国际招标网，中银证券(2)华力二期项目采购的70多台清洗设备中，其供应商按中标数量排序依次是Screen、LamResearch、盛美半导体、芝浦机电、沈阳芯源，所占份额依次是53%、24%、19%、3%、1%，盛美半导体位居第三。图表11.上海华力二期项目清洗设备的供应商市场份额盛美18.7%Screen53%Lam24%其他3%沈阳芯源1.3%资料来源：中国国际招标网，中银证券盛美主导的清洗设备国产化程

8、度，与中微、北方华创、屹唐推动的刻蚀设