科技行业芯片国产化系列二：大陆自主晶圆厂投产进度、关键半导体设备国产化率分析-20191113-方正证券.pdf

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1、证券研究报告2019年11月13日芯片国产化系列二大陆自主晶圆厂投产进度、关键半导体设备国产化率分析方正新兴产业组长李疆执业证书编号：S1220518010003联系人范云浩核心观点1、2019年Q2起大陆自主晶圆厂进入投产高峰，未来三年半导体设备需求迎来爆发式增长。根据2017年至今大陆自主晶圆厂开工以及投产情况统计，测算未来19-22年半导体设备总投资在700美元左右，同比2018年120亿美元有很大增长空间，且大陆自主晶圆厂国产化率友好度远高于2018年海外复制线，晶圆厂本身扩产有降本的采购需求，有利于国产化率的提升，2018年国产化率不到5%，提升空间巨大。2、分器件梳理半导

2、体设备国产化进程：28nm以下中低端制程是目前国产设备角逐的主战场；功率&Special工艺要求相对较低好验证，但与二手设备竞争激烈；存储器件工艺上具有一定难度，国产设备积累较少，但我们认为突破性价比高，主要基于：①国内大力发展存储产业，新增产能较多；②存储器件结构大量相同单元叠加设备参数要求相对单一适宜批量生产；③存储器同质化竞争激烈，存储企业必须依靠规模效应体现竞争力将不断扩充生产线，一旦通过认证将为国产设备提供源源不断的订单需求。3、北方华创与中微公司引领国产替代，关键层设备在长存项目国产化率快速提升。根据公开招标数据显示，长江存储历次规模化招标时点基本与新产品（32层/64层N

3、AND)研发节奏同步，并于2019年9月份开启第三轮招标，预计为2021年10万片/月产能做准备。根据前两轮关键层设备招标情况分析，中微公司28nm以下Dielectric刻蚀已进入量产阶段，并率先通过14nm部分工艺验证；北方华创硅刻蚀设备19年3月首次批量进入长存供应链，等离子刻蚀设备于10月实现重复中标。PVD领域北方华创在HardMask及Al-Pad环节已有订单突破，未来CuBS核心工艺验证通过将成为新的业绩增长点。同时北方华创在氧化扩散工艺第二轮中标40台，占据主要市场份额。投资策略：二期大基金启动设备环节重点受益，建议关注北方华创(002371.SZ)，中微公司(6880

4、12.SH)风险提示：半导体行业景气度下行；半导体设备技术更新；半导体制造厂资本开支不及预期；中美贸易摩擦加剧11、分器件看逻辑中低端制程及功率&Special领域国产设备突破较快图表1：逻辑中低端制程是国产设备角逐的主战场，功率&Special与二手设备竞争激烈，存储器国产设备积累少但突破性价比高国内自主Fab厂Fab厂投资额合计工艺制程备注（括号内数字为Fab投资/亿元）（亿元）14nm中芯南方、中芯SN1&SN2、武汉宏芯2672中微公司率先通过部分工艺验证总体产能过剩，未来新增产能预计不28nm华力微电子188多逻辑65-40nm粤芯，晶合316国产设备角逐的主战场中芯宁波（4

5、0）、中芯绍兴（58.8）、中芯天津其它（~105）、中璟航天（60）、海辰（67.9）、882德淮（450）、粤芯（100）3D-NAND紫光集团4565工艺具有一定难度，国产设备积累较少，但突破性价比高：1、国内新增产能多为存储器DRAM合肥长鑫5502、存储器结构相同单元叠加，对设存储备参数要求相对单一3、存储器竞争力必须依靠规模效应，不断扩充生产线将给国产设备带来源源不断的订单需求PCM江苏时代芯存130士兰微、北京燕东、积塔、芯恩、赛莱克斯、中工艺要求低，好验证。但与二手设备功率&Special——766车时代、富能、万国、大连宇宙竞争激烈资料来源：集成电路产业全书，方正证券

6、研究所整理（不完全统计）22、大陆自主晶圆厂项目情况-中芯国际、华虹、紫光集团图表2：中芯国际Fab厂情况厂（名称/8或者投资金额月产能公司地点主要产品技术节点生产状态更新时间12英寸）（亿元）(万片）上海12寸二厂Foundry14nm6757量产2019年6月Foundry(B2A)40-28nm2242量产2013年北京12寸B2厂CISNAND(B2B)28nmN/A2量产2015/10/29中芯国际北京12寸B3厂CIS55nm2633.5在建2016年10月N1投产N2：高压模拟、宁波8寸晶圆厂射频前端、特种N/AN2：40N2:33万片2018年11月半导体N2开工天津8

7、寸晶圆厂LogicN/A9915设备搬入2018年7月图表3：华虹宏力Fab厂情况厂（名称/8或者投资金额月产能公司地点主要产品技术节点生产状态更新时间12英寸）(万片）（亿元）上海8寸厂N/AN/AN/A14N/AN/A特色工艺集成电华虹宏力12寸晶圆厂90-65/55nm1594投片2019年9月17日路芯片无锡12寸晶圆厂逻辑芯片N/A477N/A规划N/A资料来源：方正证券研究所整理32、大陆自主晶圆厂项目情况-中芯国际、华虹、紫光集团