多晶制绒工艺提示单2011.11.28

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1、多晶制绒工艺提示单文书编号：HCBZGJ004版本：03页码：1/4昊诚光电（太仓）有限公司作成：2011年5月23日修订：2011年11月28日多晶制绒工艺提示单承认确认作成年月日年月日年月日持有部门：发放编号：格式编号：HCGS01多晶制绒工艺提示单文书编号：HCBZGJ004版本：03页码：2/4昊诚光电（太仓）有限公司作成：2011年5月23日修订：2011年11月28日更改记录版本号日期更改描述制作批准022011.8.23减薄量控制范围及药液激活调整彭国印　蒋剑波　032011.11.28减薄量控制范围调整格式编号：HCGS01多晶制绒工艺提示单文书编号：

2、HCBZGJ004版本：03页码：3/4昊诚光电（太仓）有限公司作成：2011年5月23日修订：2011年11月28日1.目的：规范设备、生产和工艺操作，确保产品质量正常运行。2.范围：本公司多晶制绒工序。3.作业内容。3.1制造部人员每班接班后须用无水乙醇将小车、上下料滚轮及下料处放篮板擦拭干净。3.2上料员工每1000pcs须换一次PE手套；下料员工除戴PE手套外，还需再套一双薄塑一次性手套且每1000pcs换一次外层手套，防止硅片表面产生脏污或手指印。3.3员工上料时，必须以透明塑胶板作托底，以防硅片沾上污渍，且放料间距大于3cm。3.4下料员工要保证每一硅片都

3、是正面向上的放在25格花篮中，不得随意翻转硅片，确保扩散区分正面和反面，并用反面作为扩散面。3.5如非在线交接，接班后或中途停产半小时以上应先用激活管激活药液20分钟或投放不少于100片激活片激活药液后，先在2，4道投入两片称重片，其减薄量及硅片外观均在工艺要求标准范围内（表面无粗重黑丝、无抛光且制绒下表面无滚轮印）才可正常投片生产，当班工艺员要经常对以上内容进行检查，如果电脑需要重启的必须通知工艺人员，设备人员重启电脑也不例外。3.6当前工艺减薄量标准范围：0.45g-0.51g，带速1.0-1.25m/min，称重员于每批（500片）投片前取两片称重后投于2、4道

4、，要将得到的减薄量平均值与标准对比，减薄量大于0.51g或小于0.45g的或连续两批为0.45g或0.51g，要立即通知当班工艺员调整工艺参数，减薄量0.42-0.44g且确认反面无滚轮印或0.52-0.54g该批可流入下道工序，低于0.41g返工处理，大于0.54g通知工艺确认处理。格式编号：HCGS01多晶制绒工艺提示单文书编号：HCBZGJ004版本：03页码：4/4昊诚光电（太仓）有限公司作成：2011年5月23日修订：2011年11月28日减薄量的称重记录要准确，不得随意更改数据以吻合标准范围。称重员如实地记录各项数据并将每批的减薄量数据填写在流程单上，减薄

5、量的异常不是称重员的责任，称重员的责任是将异常的数据报告给工序长或当班工艺员。称重前先归零，以确保制绒前和制绒后的数据都是准确的。当班工艺员要经常查看减薄量的记录，发现有异常的数据要进行复核，如复核的结果不同，以工艺复核的结果为准。并将复核的结果写在异常数据旁并作上标记。如复核的结果与之相同，要相应的调整工艺参数。当班工艺员要对每条线的工艺参数相当熟悉，对减薄量的波动及走向要有一定的预分析，密切关注每条线的减薄量及带速，并能在第一时间发现问题并解决问题。并对控制面板操作情况巡检。制造部人员只有相应权限对控制面板进行操作，操作仅限于批量的清零、确认出现卡片时传动马达的停

6、止，有警报声时上料人员必须查看警报信息后不影响生产的报警声消除（按F1键），如果出现药液添加盒进液超时或风刀、水刀及不确定是否会造成质量异常的警报信息时应立即停止投片，通知当班工艺员确认已投硅片是否要返工，待问题解决后再生产。3.7下料员在下料时如发现硅片未吹干、硅片发亮或黑丝非常严重、有黄点、黄斑、脏污、叠片、卡片、反面有滚轮印现象时要及时通知设备人员或工艺人员来解决。要求员工有较高的责任心，杜绝以上异常片流入下道工序。当班工艺员要经常巡检设备及集中供液运行情况，对设备的各个系统的运行要有较高了解和掌握，遇到以上情况要及时通知设备或集中供液人员，工艺出现异常要做出正

7、确及时的解决措施，若不能解决的要及时通知工艺负责人，视情况严重程度上报给主管或总工程师。格式编号：HCGS01