机械设备行业：半导体设备国产化专题七，硅片生长及加工设备，超80％设备依赖进口，但国产化率有上升趋势

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1、目录硅片生产与加工设备市场状况4我国大硅片产线的设备采购情况7项目A：上海某大硅片产线7项目B：中环领先11硅片生产与加工设备国产化15图表目录图表1.大硅片处于半导体产业链上游4图表2.大硅片生产与加工工艺及主要设备厂家5图表3.全球主要大硅片生产与加工设备厂商经营情况5图表4.ASML、KLA、AppliedMaterials等三季度收入企稳回升6图表5.上海某大硅片产线设备配置7图表6.上海某大硅片产线设备国产化程度7图表7.上海某大硅片产线设备国产化率8图表8.上海某大硅片产线长晶炉的竞争格局8图表9.上海某大硅片产线研磨设备的竞争格局9图表10.上海某大硅片产

2、线抛光机的竞争格局9图表11.上海某大硅片产线切割设备的竞争格局10图表12.上海某大硅片产线清洗设备的竞争格局10图表13.上海某大硅片产线检测设备的竞争格局11图表14.中环领先大硅片产线设备配置情况11图表15.中环领先大硅片产线设备国产化程度12图表16.中环领先大硅片产线设备国产化率12图表17.中环领先大硅片产线减薄设备的竞争格局12图表18.中环领先大硅片产线抛光机的竞争格局13图表19.中环领先大硅片产线切割设备的竞争格局13图表20.中环领先大硅片产线检测设备的竞争格局14图表21.国内主流大硅片产线设备国产化率对比15图表22.国内主流大硅片产线的国

3、产设备厂商进入情况15图表23.晶盛机电在半导体设备领域的全面布局16图表24.晶盛机电各类半导体设备进入产线情况16图表25.报告中提及上市公司估值表17硅片生产与加工设备市场状况大硅片属于集成电路的主要材料之一，处于半导体产业链的上游。图表1.大硅片处于半导体产业链上游资料来源：中微公司招股说明书，中银国际证券硅片生产与加工工艺流程：长晶→端点去除与直径研磨→晶圆切片→研磨→清洗→抛光→清洗→检测等。我们这里主要探讨长晶炉、研磨设备、抛光机、检测、切割设备等。图表2.大硅片生产与加工工艺及主要设备厂家资料来源：中银国际证券全球硅片生产与加工设备供应商，主要来自日本，

4、如日本的Ferrotec、ACCRETECH、TOKYOSEIKI、OkamotoMachine、DAITRON等，其他设备供应商来自美国、德国、匈牙利、韩国等，国内企业包括晶盛机电和南京晶能等。图表3.全球主要大硅片生产与加工设备厂商经营情况硅片生产与加工设备半导体业务收入增速总收入其他业务国家Ferrotec长晶炉5亿美元20%8.1亿美元电子设备、光伏等日本ACCRETECH边缘研磨机6.3亿美元16%9.1亿美元FPD设备日本TOKYOSEIKI外径研磨机、边缘研磨机、精密仪器日本最终抛光机、晶棒切断机OkamotoMachine抛光机、减薄机、研磨3.26亿美

5、元玻璃基板抛光设备，太阳能发电用的锭日本处理设备和切片机DAITRON边缘研磨机、切割机5.63亿美元电子机器、有源和无源元件、机电元件日本面板设备光洋机械工业株式会社双面减薄机磨床、精密机器，工业自动化系统日本LapmasterWolters双面抛光机德国检测机、分选机Semilab近表面电阻率量测仪、铁金属量测仪、薄膜分析与基底测试仪等光伏电池测试、面板测试等匈牙利KLA平坦度检测机、微粒检测机41亿美元45.7亿美元自动化、面板美国Disco全自动减薄机、抛光机11亿美元13.3亿美元半导体设备占90%日本不二越全自动抛光机等<1.4亿美元-5%22.2亿美元机

6、器人、轴承、液压部件等日本梅耶博格线切割机4.3亿美元光伏设备瑞士晶盛机电单晶炉RMB25亿元光伏设备中国南京晶能单晶炉中国KOBELCO研究所表面粗糙度量测仪、翘曲度平板显示、太阳能组件、日本资料来源：各公司公告，中银国际证券全球半导体行业强势复苏。我们统计7家全球半导体设备上市企业，三季度收入142亿美元，环比增长10%，是连续四个季度负增长后首次恢复环比正增长，同比下降6%，下滑幅度较一、二季度明显收窄。展望四季度，ASML预计收入将环比大幅增长30%，而Lam、KLA、Teradyne等预计第四季度收入环比正增长。图表4.ASML、KLA、AppliedMat

7、erials等三季度收入企稳回升AMAT-ASML40.0020.00LAM60.00KLA100.0080.00TER120.00TEL160.00140.00DISCO180.00全球部分半导体设备龙头上市公司单季度收入（亿美元）资料来源：各公司公告，中银国际证券我国大硅片产线的设备采购情况项目A：上海某大硅片产线根据中国国际招标网，我们公开累计采购240多台设备，其中数量最多的是检测设备56台，其次是抛光设备、研磨设备，而拉晶炉16台。图表5.上海某大硅片产线设备配置资料来源：中国国际招标网，中银国际证券我们按数量统计的国产化率为8