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《真空技术及应用系列讲座 第七讲_真空检漏05》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。
1、真 空第3期46Vacuum2VacuumTechnologyandMaterial1998年6月真空技术及应用系列讲座东北大学真空工程博士点,博士导师杨乃恒先生主持第一讲:真空科学的发展及其应用⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯李云奇 95(2)第二讲:真空物理基础⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯张世伟 95(3)第三讲:机械真空泵(一)(二)(三)(四)(五)(六)⋯张以忱95(4)、(5)、(6)、96(1)、(2)、(3)第四讲:蒸汽流真空泵⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯姚民生 96(4)第五讲:气体捕集式真
2、空泵⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯徐成海 96(5)第六讲:真空测量⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯刘玉岱 96(6)、97(1)、(2)、(3)、(4)第七讲:真空检漏⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯关奎之 97(5)、(6)、98(1)、(2)第七讲:真空检漏关奎之(东北大学)四、标准漏孔(接1998年第2期第48页)标准漏孔是在一定条件下向真空系统内部提供已知气体流量的元件。一般要明确这个气流量(即漏率)的气体种类、温度、压力等条件。如果不特别指明,则指温度为296±3K、入口压53力为1.01×10Pa、出口压力低于1.33×10
3、Pa的干燥空气(其露点温度低于248K)的漏率。11常用的标准漏孔几种常用标准漏孔的结构如图10所示。2827玻璃毛细管型标准漏孔(图中a)是用局部拉细的玻璃毛细管制成的,漏率为10～103Pamös。图10 几种常用标准漏孔2826金属压扁型标准漏孔(图中b)通常是用无氧铜或可伐管压制而成,漏率为10～103Pamös。©1994-2006ChinaAcademicJournalElectronicPublishingHouse.Allrightsreserved.http://www.cnki.net第3期 关奎
4、之:真空检漏47玻璃铂丝型标准漏孔(图中c)是利用玻璃与铂丝的不匹配封接制成的。当铂丝直径为0.1273～0.5mm;封接长度为5～10mm时,漏率约为10Pamös。当温度改变时,其漏率变化。若296K的漏率为qL,296,则温度T时的漏率为qL,T=f(T)qL,296(8)式中f(T)的曲线如图11所示。薄膜渗氦型标准漏孔(图中d)是利用石英薄膜球泡的渗氦速率制成的,其漏率一25293般为10～10Pamös。由于温度对漏率的影响很大,使用时应当注意修正。如果温度T1时漏孔漏率为qL,T,使用温度T2时的漏1率应为E11qL,T=qL,
5、Texp[(-)](9)21RT2T1式中 图11f(T)曲线E——氦在石英中的渗透激活能R——摩尔气体常数。21标准漏孔的校准标准漏孔的常用校准方法有定容升压法和氦质谱检漏仪比较法。(1)定容升压法定容升压法校准系统示意图如图12所示。经预抽并烘烤容积V后,标准漏孔进气端3压力p1<1.33×10Pa,而V达到极限真空。当5压力为1.01×10Pa的校准气体(例如N2气)经标准漏孔流进容积V,并V中压力p2稳定后,关闭阀门S2记录时间和环境温度T,测出11校准气体 21压力计 31机械泵 41标准漏孔对应$t时间的升压$p2,则标准漏孔的漏
6、率为51真空计 61扩散泵 71机械泵$p2296qL,0=V(10)图12 定容升压法校准系统示意图$tT(2)氦质谱检漏仪比较法氦质谱检漏仪比较法校准系统如图13所示。在检漏仪工作条件不变的前提下,先后测出已知漏孔L1和待校漏孔L2的进气氦压和讯号,则待校标准漏孔的漏率为I2-I0p1qL,02=qL,01(11)I1-I0p2式中 qL,01——已知标准漏孔L1的漏率p1,p2——分别为L1、L2漏孔进气端氦压I1,I2——分别为L1、L2漏孔的输出讯号I0——检漏仪本底。11检漏仪 21辅助泵国产检漏仪器的主要参数见表12和表13。图
7、13 比较法校漏孔©1994-2006ChinaAcademicJournalElectronicPublishingHouse.Allrightsreserved.http://www.cnki.net第3期 关奎之:真空检漏49表13 国产卤素检漏仪的主要参数反应耗电灵敏度检测范围重量外形尺寸厂 家型 号33时间功率备注[Pamös][Pamös][kg][mm×mm×mm][s][W]LX22A3.25×1027<3213.5传感器260×170×50北京真空仪检控箱200×150×50表厂 LX236.
8、5×10286.5×1028～3.9×1025<1557324×300×144F12LX245×10285×1028～1.5×1025LLS21<10271027～
