行业标准《多晶硅行业用无尘擦拭布中杂质含量的测定电感耦

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1、行业标准《多晶硅行业用无尘擦拭布中杂质含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法》（预审稿）编制说明一、工作简况1、项目的必要性简述随着多晶硅生产技术的进步，产品的质量越来越高，微污染对产品质量的影响越来越大。多晶硅生产过程中对环境的要求相当苛刻，污染的控制变得尤为重要。无尘擦拭布在多晶硅生产中主要用于磷检炉、硅芯炉和还原炉底盘的擦拭，洁净室及相关受控环境、设备必备的擦拭除尘产品，可快速、彻底的清洁物体表面，可避免损伤物体表面。为避免无尘擦拭布接触设备表面造成二次污染，对无尘擦拭布的杂质含量需要进行严格控制。产品标准FZ/T64056-2015《洁净室用擦拭布》中规定了擦拭布吸收容量、吸

2、收时间、发尘量等技术指标。并在附录C中规定了离子含量的检测方法，但其检测设备为离子色谱仪。所涉及检测离子为Na+、K+、Ca+、Mg+、NH4+及部分阴离子，并不适用于多晶硅行业用无尘擦拭布中杂质含量的检测。目前行业内无统一的检测标准，为准确的检测多晶硅用无尘擦拭布中杂质含量，制定此标准。2、适用范围2.1规定了电感耦合等离子体发射光谱法测定无尘擦拭布中硼、磷、钠、镁、钾、钙、铬、铁、镍、铜、锌等多种杂质含量的方法。2.2适用于多晶硅行业用无尘擦拭布中硼、磷、钠、镁、钾、钙、铬、铁、镍、铜、锌含量的测定。3、任务来源根据《工业和信息化部办公厅关于印发***年第**批行业标准制修订计划的

3、通知》（工信厅科函[****]***号）的要求，《多晶硅行业用无尘擦拭布中杂质含量的测定电感耦合等离子光谱法》由亚洲硅业（青海）有限公司牵头负责起草，计划编号：2018-031-T/CNIA，要求于2018年完成。4、承研单位简况亚洲硅业（青海）有限公司秉承“推广光伏产业、发展绿色能源”的时代责任感，利用青海当地丰富的水电和光照资源，扎根西部，以降低光伏发电成本，提高光伏产品质量为己任，引进国际先进的改良西门子法，建设年产20000多吨高纯多晶硅生产项目。8公司“工艺创新为核心，持续提高产品质量的质量管理模式”与2018年7月获得青海省政府质量奖。并公司所属分析中心拥有三十万级、十万级

4、、千级、局部百级的洁净分析环境。检测设备齐全，在化学检测领域拥有电感耦合等离子体质谱仪、电感耦合等离子体光谱仪、气相色谱仪、气相质谱联用仪、傅立叶变换红外光谱仪、傅立叶变换低温红外光谱仪、红外碳硫分析仪、手持式X荧光光谱仪、单点少子寿命测试仪、正置金相显微镜、自动烟尘（气）测试仪等先进的进口检测设备为公司的原料、中控样品及成品的检测和质量保证提供了可靠性及先进的硬件保障。同时分析中心在2013年5月被青海省政府授予“青海省多晶硅重点实验室”并于同年8月获得中国合格评定国家认可委员会实验室认可证书。因此亚洲硅业（青海）有限公司具备该标准制定、起草及相关实验条件和分析能力。4、主要工作过程

5、自任务下达后，2018年亚洲硅业（青海）有限公司分析中心成立了《多晶硅行业用无尘擦拭布中杂质含量的测定电感耦合等离子光谱法》标准起草小组，项目小组根据标准制定遵循的原则，立即开展了相关国内外资料、标准的整理和研讨工作。同时组织相关技术人员进行了大量多晶硅用无尘擦拭布中杂质含量分析方法的实验工作，初步确立了采用电感耦合等离子体发射光谱法分析多晶硅用无尘擦拭布中杂质含量。同时结合公司对无尘擦拭布的使用情况，在分析实验的基础上进一步确立了方法标准的技术要素、仪器参数和性能指标等。一、标准编制原则和确定标准主要内容的论据本标准按照GB/T1.1-2009《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编

6、写》和GB/T20001.4-2001《标准编写规则第4部分：化学分析方法》的要求进行编写。标准中简述了方法提要，确定了测定范围、所用试剂、制样要求、分析操作步骤、数据处理、以及分析方法评价（RSD）等技术内容。1.第1章范围本标准规定了多晶硅行业用无尘擦拭布中硼、磷、钠、镁、钾、钙、铬、铁、镍、铜、锌杂质含量的检测方法。本标准适用于多晶硅行业用无尘擦拭布中硼、磷、钠、镁、钾、钙、铬、铁、镍、铜、锌杂质含量的测定，测定范围见表1。8表1测定范围元素质量分数μg/g元素质量分数μg/g硼0.1～10.00铬0.1～10.00磷0.1～10.00铁0.1～10.00钠0.1～10.00镍0

7、.1～10.00镁0.1～10.00铜0.1～10.00钾0.1～10.00锌0.1～10.00钙0.1～10.00——1.第2章规范性引用文件对于本标准中直接引用到的标准，列入了第2章规范性引用文件中，分别为GB/T8170《数值修约规则与极限数值的表示和判定》、GB/T11446.1《电子级水》和ISO14644-1《洁净室和相关受控环境》第1部分。2.第3章原理称取一定量的试样于PFA样品瓶中，用硝酸溶液浸泡、超声30min，试液引入电感