行业标准《晶硅行业用无尘擦拭布中杂质含量的测定 电感耦.doc

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1、行业标准《多晶硅行业用无尘擦拭布中杂质含量的测定电感耦合等离子光谱法》（工作组讨论稿）编制说明一、工作简况1、项目的必要性简述随着多晶硅生产技术的进步，产品的质量越来越高，微污染对产品质量的影响越来越大。多晶硅生产过程中对环境的要求相当苛刻，污染的控制变得尤为重要。无尘擦拭布在多晶硅生产中主要用于磷检炉、硅芯炉的擦拭，洁净室及相关受控环境、设备必备的擦拭除尘产品，可快速、彻底的清洁物体表面，可避免损伤物体表面。为避免无尘擦拭布接触设备表面造成二次污染，对无尘擦拭布的杂质含量需要进行严格控制。产品标准FZ/T64056-2015

2、《洁净室用擦拭布》中规定了擦拭布吸收容量、吸收时间、发尘量等技术指标。并在附录C中规定了离子含量的检测方法，但其检测设备为离子色谱仪。为准确的检测多晶硅用无尘擦拭布中杂质含量，制定此标准。2、适用范围2.1规定了电感耦合等离子体发射光谱法测定无尘擦拭布中硼、钙、铬、铁、钾、镁、钠、镍、磷、锌等多种杂质含量的方法。2.2适用于多晶硅行业用无尘擦拭布中硼、钙、铬、铁、钾、镁、钠、镍、磷、锌含量的测定。3、任务来源根据《工业和信息化部办公厅关于印发***年第**批行业标准制修订计划的通知》（工信厅科函[****]***号）的要求，《

3、多晶硅行业用无尘擦拭布中杂质含量的测定电感耦合等离子光谱法》由亚洲硅业（青海）有限公司牵头负责起草，计划编号：2018-031-T/CNIA，要求于2018年完成。4、承研单位简况亚洲硅业（青海）有限公司秉承“推广光伏产业、发展绿色能源”的时代责任感，利用青海当地丰富的水电和光照资源，扎根西部，以降低光伏发电成本，提高光伏产品质量为己任，引进国际先进的改良西门子法，建设年产23000吨高纯多晶硅生产项目。公司所属分析中心拥有三十万级、十万级、千级、局部百级的洁净分析环境。检测设备齐全，在化学检测领域拥有电感耦合等离子体质谱仪、

4、电感耦合等离子体光谱仪、气相色谱仪、气相质谱联用仪、傅立叶变换红外光谱仪、傅立叶变换低温红外光谱仪、红外碳硫分析仪、手持式X荧光光谱仪、单点少子寿命测试仪、正置金相显微镜、自动烟尘（气）测试仪等先进的进口检测设备为公司的原料、中控样品及成品的检测和质量保证提供了可靠性及先进的硬件保障。同时分析中心在2013年5月被青海省政府授予“青海省多晶硅重点实验室”并于同年8月获得中国合格评定国家认可委员会实验室认可证书。因此亚洲硅业（青海）有限公司具备该标准制定、起草及相关实验条件和分析能力。4、主要工作过程自任务下达后，2018年亚洲

5、硅业（青海）有限公司分析中心成立了《多晶硅行业用无尘擦拭布中杂质含量的测定电感耦合等离子光谱法》标准起草小组，项目小组根据标准制定遵循的原则，立即开展了相关国内外资料、标准的整理和研讨工作。同时组织相关技术人员进行了大量多晶硅用无尘擦拭布中杂质含量分析方法的实验工作，初步确立了采用电感耦合等离子体发射光谱法分析多晶硅用无尘擦拭布中杂质含量。同时结合公司对无尘擦拭布的使用情况，在分析实验的基础上进一步确立了方法标准的技术要素、仪器参数和性能指标等。一、标准编制原则和确定标准主要内容的论据本标准按照GB/T1.1-2009《标准化

6、工作导则第1部分：标准的结构和编写》和GB/T20001.4-2001《标准编写规则第4部分：化学分析方法》的要求进行编写。标准中简述了方法提要，确定了测定范围、所用试剂、制样要求、分析操作步骤、数据处理、以及分析方法评价（RSD）等技术内容。1.第1章范围本标准规定了电感耦合等离子体发射光谱法测定无尘擦拭布中硼、钙、铬、铁、钾、镁、钠、镍、磷、锌等多种杂质含量的方法。本标准适用于多晶硅行业用无尘擦拭布中硼、钙、铬、铁、钾、镁、钠、镍、磷、锌含量的测定，测定范围见表1。表1测定范围元素质量分数，μg/g元素质量分数，μg/g硼

7、0.1～10.00镁0.01～10.00钙0.1～10.00钠0.01～10.00铬0.01～10.00镍0.01～10.00铁0.01～10.00磷0.01～10.00钾0.01～10.00锌0.1～10.001.第2章规范性引用文件对于本标准中直接引用到的标准，列入了第2章规范性引用文件中，分别为GB/T6682-2008《分析实验室用水规格和试验方法》和GB/T8170-2008《数值修约规则与极限数值的表示和判定》2.第3章原理称取一定量的试样，放入烧杯中，用5%硝酸溶液浸泡30min，试样溶液引入电感耦合等离子体原子

8、发射光谱仪，在选定的测定条件下，测定试液中各元素的含量。3.第4章试剂4.1单元素标准贮存溶液：采用国内外可以量值溯源的有证标准样品，其质量浓度均为1000µg/mL。4.2标准溶液：分别移取1.00mL硼、钙、铬、铁、钾、镁、钠、镍、磷、锌单元素标准贮存溶液（4.4）置于1