存储芯片行业何时会用上EUV工艺？.doc

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1、存储芯片行业何时会用上EUV工艺？　　今年台积电、三星及Globalfoundries等公司都会量产7nm工艺，第一代7nm工艺将使用传统的DUV光刻工艺，二代7nm才会上EUV光刻工艺，预计明年量产。那么存储芯片行业何时会用上EUV工艺？在美光看来，EUV光刻工艺并不是DRAM芯片必须的，未来几年内都用不上，在新一代工艺上他们正在交由客户验证1Ynm内存芯片，未来还有1Z、1α及1β工艺。　　　　内存行业在未来几年都不需要EUV光刻机　　内存跟CPU等芯片虽然都是集成电路，生产制造过程有相似之处，不过工艺并不相同，CPU逻辑工艺今年进入到了7nm节点，但内存主流的还是20nm、18nm工艺

2、，其中18nm就属于1Xnm节点（16-19nm之间），后面的1Ynm则是14-16nm之间，1Z大概是12到14nm。再之后，美光提出的是1α及1β工艺，具体对应xxnm就不明了。　　三星是第一家量产18nm工艺，也就是第一个进入1Xnm节点的，遥遥领先其他公司，美光现在也开始向1Xnm工艺转进，下一代的1Ynm工艺已经进入客户验证阶段了，今年下半年问世，1Znm工艺节点在处于工艺优化阶段，1α及1β工艺则是在不同研发阶段。　　美光CEOSanjayMehrotra日前在参加伯恩斯坦年度战略决策会上回答了有关的工艺问题，在EUV光刻工艺上，他认为EUV光刻机在DRAM芯片制造上不是必须的，

3、直到1α及1β工艺上都也不会用到它。　　　　ASML早前分享过内存进入EUV工艺的进度表　　在内存工艺上，美光认为1α及1β工艺上依然都不需要EUV光刻工艺，不过早前ASML两年前提到过内存在进入1Ynm节点时就需要考虑EUV工艺了，实际上并没有，包括三星在内的三大DRAM巨头都没有很快进入EUV节点的打算。