微电子工艺课_实验_生产实习的整合研究_王蔚

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1、网络出版时间：2012-11-2911:58网络出版地址：http://www.cnki.net/kcms/detail/11.4994.T.20121129.1158.001.html2012年第23期ISSN1672-1438总第159期CN11-4994/T微电子工艺课/实验/生产实习的整合研究王蔚田丽付强哈尔滨工业大学黑龙江哈尔滨150001摘要：从课堂教学与实践教学整合角度出发，针对“微电子工艺”课程的教学模式、内容、教材等提出了将课堂/实验/实习3种不同教学形式作为一个课程模块，穿插进行，理论与实践彼此相互促进的

2、整合教学模式，编写了教材，进行了初步实施及评价，获得了学生和微电子课程群其他课程主讲教师的肯定，评教结果为“A+”。关键词：微电子工艺，整合教学，生产实习ThecombinationofMicroelectronicsprocessingcourse/experiment/productionpracticeWangWei,TianLi,FuQiangHarbinInstituteofTechnology,Harbin,150001,ChinaAbstract:Thispaperpresentsanewteachingmod

3、eforthecourse“Microelectronicsprocessing”.Accordingtothecharacterofthiscourse,theteachingmode,thecontent,theteachingmaterialsandteachingmethodwereadjusted.Theteachingmodeswereimprovedbythecombinationofpracticeandtheory.Withthisnewteachingmode,theMicroelectronicspro

4、cessingcourse/experiment/productionpracticeswereofferedfortheundergraduates.Thepreliminaryresultsindicatedthatthestudentsandotherleadingteachersunderthesamecoursegroupheldthepositiveattitudestowardsthisnewteachingmode.Theteachingevaluationresultis“A+”.Keywords:Micr

5、oelectronicsprocessing;improvedteachingmode;productionpractice20世纪80年代初，J.M.德克特勒首次提出了“最心课程，其教学目的是使学生掌握硅集成电路芯片制终的整合目标”这一概念，它成为整合学业理论的基造工艺的基本原理和方法，了解微电子产品制造关键[1]础。最初，这一理论被应用在欧洲大学为适应教学技术及其发展方向。而“微电子系列实验”和“生产大纲的学业整合方面。整合教学实际上是一种以能力实习”是与“微电子工艺”课程内容关联性很强的实[2]为导向的教学方法，它力图

6、通过整合来发展学生的践教学环节。“微电子系列实验”是独立设置的实验能力，使学生能在某一情境中调动所学知识、技能，课程，其教学目的是使学生掌握硅芯片关键工艺的实以及其他资源来完成目标。近年来，整合教学受到普验、检测技术和常用仪器的使用方法。“生产实习”遍关注，整合教学法已被应用于各层次的教学实践，则是通过组织学生到现代化企业参观学习，在工艺线[5]在国内高校中也开始出现应用整合教学法进行专业课上直接参与生产实践，使之了解微电子产品的生产[3,4]教学的报道。过程，行业发展动态，从而提高他们解决问题的能力“微电子工艺”“微电子系

7、列实验”“生产实习”及综合素质。本质上，这3门课程是教学形式不同，是微电子课程群中教学内容相近，教学形式不同的3门但教学内容相近的一个课程模块。在当前的教学大纲专业课程，我校对其进行了整合教学研究，提出了新的中，这3门课程都是独立开设的，通常在大三上学期教学模式，编写了涵盖这3种形式教学内容的教材，设分别开出40学时的工艺课、20学时的系列实验和4周计了教学方案，并进行了初步实施及评价。的生产实习。因此，“微电子工艺”课堂教学和实践教学结合的较为松散，总学时数也偏多。1微电子工艺课程分析1.2教学现状分析“微电子工艺”具有涉

8、及知识面宽，综合性强，1.1原课程安排理论与实践结合紧密的特点。若只采取课堂教学，对“微电子工艺”是当前高校电子类本科专业的核毫无实践经验的学生而言，课程涉及的技术性内容繁杂，知识点多且分散，全面理解学习内容的难度大。收稿日期：2012-07-18在为09级学生开出本课程之后进行了问卷调查